ノリタケは2026年6月16日、水のみでガラス基板を研磨できる新しい研磨パッド「AQUCERIA」を開発したと発表した。従来必要だった研磨剤スラリーを使わないことで、産業廃棄物の発生を従来比で約90％削減できるという。
ガラス基板は耐熱性や寸法安定性に優れているため、先端半導体パッケージなどの分野で需要が拡大している。一方で、従来の研磨工程では酸化セリウムを含むスラリーを用いる必要があり、使用後は産業廃棄物として処理される点が課題となっていた。
「AQUCERIA」は、有機材料と無機材料を組み合わせた独自技術により、パッド内部の樹脂中に酸化セリウムを内包。研磨中に必要量が表面へ供給される構造とすることで、スラリーなしでも安定した研磨を実現した。さらに内部の気孔構造を最適化することで、研磨剤の供給を均一に保っているそうです。
これにより、水だけで従来と同等以上の研磨速度と表面品質を確保。加えてレアアース使用量の削減や、研磨後の洗浄工程の負担軽減にもつながるとしている。
同製品は最大500mmサイズのガラス基板に対応しており、半導体パッケージ用途に加え、イメージセンサーやハードディスク、光学部材など幅広い用途への展開が期待されています。
引用/参照元：
スラリー不要、水だけで研磨可能なガラス基板研磨パッド：産業廃棄物90％削減 – EE Times Japan
感想
社内で聴きまわった所「スリラーって何？」って方が多かったので補足しますが、スリラーは水と何かが混じったものになります。プロテインとかもスリラーになります。
研磨の仕上げの際に研磨スリラーというものを使う必要があり、外部からこれをかけて研磨していたのが実情です。これは産業廃棄物の汚泥に該当します。
水だけで研磨した場合でもパット内部の研磨剤が水に混じるので廃液は汚泥になると思いますので、使う水の量が変わらなければ廃棄物の量としてはあまり変わらないのかなと思ってしまいます。ただ、研磨スリラーの使用量が減ると言うだけでも環境には優しくなりますね。
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